Shiva được tôn thờ là Arunachalesvara hoặc Annamalaiyar, và được đại diện bởi lingam , với thần tượng của ông được gọi là Agni lingam . Phối ngẫu của anh ta là Parvati được miêu tả là Unnamalai Amman. Vị thần chủ trì được tôn kính trong tác phẩm kinh điển Tamil Saiva thế kỷ thứ 7, Tevaram , được viết bởi các nhà thơ thánh Tamil được gọi là những người chống đối và được phân loại là Paadal Petra Sthalam . Thánh thơ Saiva ở thế kỷ thứ 9, Manikkavasagar, đã sáng tác Tiruvempaavai tại đây.

Khu phức hợp đền thờ có diện tích 10 ha và là một trong những khu phức hợp lớn nhất ở Ấn Độ. Nó có bốn tháp cửa ngõ được gọi là gopurams . Cao nhất là tháp phía đông, với 11 tầng và chiều cao 66 mét (217 ft), khiến nó trở thành một trong những ngôi đền tháp cao nhất ở Ấn Độ do Sevappa Nayakkar (triều đại Nayakar) xây dựng. Unnamalai Amman là người nổi bật nhất. Khu đền gồm nhiều hội trường; đáng chú ý nhất là hội trường hàng nghìn viên được xây dựng từ thời Vijayanagar.

Cấu trúc khối xây hiện tại được xây dựng dưới triều đại Chola vào thế kỷ thứ 9, trong khi những đợt mở rộng sau này được cho là do những người cai trị Vijayanagara của Vương triều Sangama (1336–1485 CN), Vương triều Saluva và Vương triều Tuluva (1491). –1570 CN). Ngôi đền được duy trì và quản lý bởi Bộ tài trợ từ thiện và tôn giáo Hindu của Chính phủ Tamil Nadu.

Ngôi đền có sáu nghi lễ hàng ngày vào các thời điểm khác nhau từ 5:30 sáng đến 10 giờ tối, và mười hai lễ hội hàng năm theo lịch của nó. Lễ hội Karthigai Deepam được tổ chức vào ngày trăng tròn giữa tháng 11 và tháng 12, và một ngọn hải đăng khổng lồ được thắp sáng trên đỉnh đồi. Nó có thể được nhìn thấy từ hàng dặm xung quanh, và tượng trưng cho thần Shiva lingam của lửa tham gia bầu trời. Sự kiện này có sự chứng kiến u200bu200bcủa ba triệu người hành hương. Vào ngày trước mỗi kỳ trăng tròn, những người hành hương đi vòng quanh chân đền và những ngọn đồi Arunachala để thờ phụng Girivalam , một tập tục được thực hiện bởi một triệu người hành hương hàng năm.

Thế giới phương Tây biết đến Tiruvannamalai vào giữa thế kỷ 20, thông qua công trình của Ramana Maharishi (1879–1950 CN).