Когато през 17 век в района на днешен Вашингтон около река Анакостия пристигат първите европейци, той бил населен с алгонкински народи, известни като Nacotchtank. До началото на 18 век индианците до голяма степен се изселват от тази област.

Джеймс Мадисън изтъква необходимостта от федерален окръг на 23 януари 1788 г. в своето есе „Федералист № 43“, твърдейки че столицата на страната трябва да се различава от щатите, за да осигури собствената си издръжка и безопасност. Атака срещу конгреса във Филаделфия от тълпа разгневени войници, известна като Пенсилванския бунт през 1783 г., подчертава необходимостта правителството да се погрижи за собствената си сигурност. Правото за създаване на федерална столица е предвидено в член първи, раздел осми от Конституцията на Съединените щати, което позволява на „окръг (не по-голям от десет квадратни мили) да се превърне в седалище на правителството на Съединените щати чрез отстъпване на територии на определени щати и одобрението от Конгреса." Конституцията обаче не посочва място за новата столица. Мадисън, Александър Хамилтън и Томас Джеферсън се споразумяват, че федералното правителство би приело поемането на военния дълг от щатите при условие, че новата столица ще бъде разположена в южните Съединени щати, което по-късно става известно като Компромисът от 1790 г.

На 16 юли 1790 г. със специален закон (Residence Act) се постановява новата столицата да бъде разположена за постоянно край река Потомак, а точната площ да бъде избрана от президента Вашингтон. Първоначалната форма на федералния окръг е квадрат със страна 16 km, а общата площ е 260 km2, както е позволено от Конституцията на САЩ. През 1791 – 1792 г. Андрю Еликот и няколко сътрудници, включително Бенджамин Банекер, измерват границата на окръга около Мериленд и Вирджиния, поставяйки камъни на всяка миля по границата. Много от камъните все още се намират там. Нов „федерален град" е построен на северния бряг на река Потомак на изток от установеното селище в Джорджтаун. На 9 септември 1791 г. „федералният град" е кръстен в чест на Джордж Вашингтон и окръгът е обявен за територия на Колумбия, използвана по онова време като поетично име за Съединените щати. Конгресът провежда първото си заседание във Вашингтон на 17 ноември 1800 г.

Актът от 1801 г. официално обединява градовете Вашингтон, Джорджтаун и Александрия, като ги прави част от федералната територия на окръг Колумбия, поставяйки я само под контрола на Конгреса. Също така територията в окръга се разделя на две: Вашингтон каунти – на изток от река Потомак и Александрия каунти – на запад. След този акт, гражданите в окръга вече не са считани за жители на Мериленд или Вирджиния, като по този начин приключва тяхното представителство в Конгреса.

По време на войната от 1812 г. след като разграбват и изгарят Йорк (днешен Торонто), на 24 – 25 август 1814 г. британски войски нахлуват в столицата при нападение, известено като Изгарянето на Вашингтон. Опожарени и унищожени са Капитолият, Министерството на финансите и Белият дом. Повечето правителствени сгради са възстановени бързо, но Капитолият, който по онова време е в строеж, не е завършен до 1868 г.

От 1800 г. жителите на окръга протестират заради липсата си на представителство, с което се гласуват закони в Конгреса. За да поправят това, различни предложения са отправяни за връщане на земята, която е отстъпена за формирането на окръга, обратно на Мериленд и Вирджиния. Този процес е известен като отстъпване на територия. Обаче тези усилия не успяват да спечелят достатъчно подкрепа до 1830 г., когато южното каунти на Александрия, което е част от окръга, страда от икономически спад, който отчасти се дължи на небрежността на Конгреса. Александрия е бил основен пазар в американската търговия с роби и се разпространили слухове, че аболиционистите в Конгреса се опитват да сложат край на робството в окръга – действие, което би довело до по-нататъшно отслабване на икономиката на Александрия, основана на робството. През 1840 г. жителите започват петиция за отстъпване на южната територия на окръга обратно на Вирджиния, тъй като са недоволни от властта на Конгреса над Александрия. Държавната законодателна власт одобрява това през февруари 1846 г., което до известна степен се дължи на връщането на Александрия, осигурявайки два допълнителни делегата, подкрепящи робството на Общото събрания на Вирджиния. На 9 юли 1846 г. Конгресът се съгласява да върне цялата територия на окръга на юг от река Потомак на щата Вирджиния.

От 1860 г. приблизително 80% от афроамериканските жители на града са свободни чернокожи. Избухването на Американската гражданска война през 1861 г. довежда до забележителен ръст на населението в окръга, което се дължи на разширяването на федералното правителство и големия приток на освободени роби. През 1862 г. президентът Ейбрахам Линкълн подписва закон (свързан с получаване на компенсации при освобождаване на роби), който слага край на робството в окръг Колумбия и освобождава около 3100 души, девет месеца преди официалното обявяване на освобождаването. До 1870 г. населението на окръга се увеличава с приблизително 132 000 души. Въпреки растежа на града, Вашингтон все още имал черни пътища и му липсвала канализация; положението било толкова лошо, че някои членове на Конгреса предлагат преместване на столицата на друго място.

С акта от 1871 г. Конгресът създава ново правителство за цялата федерална територия. Този акт ефективно обединява град Вашингтон, Джорджтаун и Вашингтон каунти в една община, официално наречена окръг Колумбия. Въпреки че град Вашингтон по закон престава да съществува след 1871 г., името продължава да се употребява и целият град става известен като Вашингтон, окръг Колумбия. В същия акт Конгресът определя Съвет за благоустройство на града. През 1873 г. президентът Грант назначава най-влиятелния член на съвета – Александър Шепърд, на новия пост губернатор. Същата година Шепърд изразходва 20 милиона щатски долара за обществени поръчки (357 милиона щатски долара по сравними курсове към 2007 г.), което модернизира града, но и го докарва до фалит. През 1874 г. Конгресът закрива офиса на Шепърд в полза на прякото управление. Допълнителни проекти за обновяване на града не са извършвани чак до Плана Макмилан през 1901 г.

Населението на окръга остава относително непроменено до Голямата депресия през 30-те години на ХХ век, когато Новият курс на президента Франклин Рузвелт разраства бюрокрацията във Вашингтон. Втората световна война допълнително увеличава правителствената дейност. Двадесет и третата поправка от Конституцията на Съединените щати е ратифицирана през 1961 г., позволявайки на окръга да има три гласа в Избирателната колегия за избора на президент и вицепрезидент, но все още липсва представителство, с което да гласува закони в Конгреса.

След убийството на водача за граждански права Мартин Лутър Кинг на 4 април 1968 г., избухват размирици в окръга, предимно на U Street, 14th Street, 7th Street и H Street, центрове на жилищни и търговски райони на чернокожи. Размириците бушуват в продължение на три дни, докато над 13 000 федерални и национални войски успяват да потушат насилието. Много магазини и други сгради са опожарени, като възстановяването им не е завършено до края на 90-те години на ХХ век.

При атентатите от 11 септември 2001 г. самолетът на United Airlines от полет 93 се смята, че е бил предназначен за атака на Вашингтон, но се разбива в щата Пенсилвания, когато пътниците опитват да превземат контрола над самолета от похитителите.